近日，一盏资本投资企业迈睿捷（南京）半导体科技有限公司（简称“迈睿捷半导体”）正式宣布完成数千万元Pre-A+轮融资。本轮融资由深担创投和昆石资本共同完成，募集资金将主要用于加速公司12吋前道国产涂胶显影机的研发进程，支持团队自主创新平台建设。

本轮融资是迈睿捷半导体在2025年新年伊始完成的又一轮融资。作为一家聚焦于国产半导体工艺设备研发和产业化的公司，迈睿捷自成立以来，一直致力于为用户提供一流的半导体工艺解决方案，专注于研发、生产、销售涂胶显影机、刻蚀机。

成立短短二年时间内，迈睿捷半导体已完成了前道8吋涂胶显影机、12吋先进封装涂胶显影机的自主研发与交付，并拿到多家客户6/8吋及12吋前、后道涂胶显影设备和刻蚀设备订单。2024年末，公司获评江苏省科技型中小企业。未来，公司将继续积极寻求与国内更多优秀企业的合作机会，以硬核实力为半导体设备国产替代贡献力量。

近日，迈睿捷半导体自主研发的MRG S150前道涂胶显影机正式交付客户，标志着公司在前道半导体设备国产化领域迈出重要一步。作为一款专为6/8吋晶圆生产设计的前道设备，MRG S150凭借全新架构设计与自主核心技术，为半导体制造产业链注入强劲动能。

公司研发与技术团队在MRG S150 2C2D机型设计上，采用与业界传统机型不同的前道高阶机台设计理念，以国产化替代为目标，针对国内市场需求深度优化。该设备配置有2个涂胶腔和2个显影腔，适用于各式i-line工艺。目前，该设备应用方向为前道各式晶圆厂、包括化合物半导体应用等多个芯片制造领域。其核心优势包括：

1.工艺性能升级

通过自主专利的气流分布架构，优化整机内部气流分布，显著减少颗粒污染，提升良率；

精准吐胶量控制技术降低光刻胶消耗，搭配独立排气腔体设计，有效提升光刻胶胶厚均匀性。

2. 高效生产与灵活配置

自主研发的双工位冷热板与创新传送手臂设计，能够有效提升机械手传送效率30%，产能达国产设备顶尖水平；

160mm长行程机械手支持“10+10”冷热板配置，灵活适配客户多样化工艺需求。

3. 智能化与可靠性

全自研软件控制系统与电控系统，实现高实时性、高稳定性调度；

CCD实时监测与生产日志追踪功能，支持数据端口对接，能保障生产全流程可追溯，切实助推客户提升智能化管理水平。

MRG S150前道涂胶显影机的成功交付，不仅是公司自主研发和创新突破的成果展示，更是国产半导体设备在解决客户实际痛点、推动产业升级方面的重要里程碑。

当前，国内6/8吋涂胶显影设备市场长期依赖进口二手设备（如日本东京电子TEL Act8及MK8机台）。在此产业背景下，MRG S150的推出，不仅以全新设计打破二手设备垄断格局，更凭借定制化工艺适配能力（支持i-line工艺及化合物半导体领域），为国内晶圆厂提供更高性价比、更贴合本土需求的选择。

公司技术负责人表示：“MRG S150的交付是公司‘技术自主+市场深耕’战略的重要里程碑。未来，我们将持续迭代产品，推动国产设备在更多关键环节实现突破。”

未来，公司将以技术创新为驱动，立足12吋前道半导体工艺领域的应用突破，更加聚焦公司核心业务和发展使命。

一是深耕技术深化。不忘初心，聚焦12吋前道涂胶显影设备研发，拓展KrF、ArF等先进制程工艺适配能力；

二是高举市场拓展。加强与国内头部晶圆厂合作，寻求建立示范产线的机会，加速国产设备验证与导入；

三是合作生态共建。联合上下游伙伴，构建半导体设备本土化供应链，提升产业链协同效率。

一盏资本投资企业成都觅几科技有限公司（简称“觅几科技”）创始人、电子科技大学太赫兹研究中心的胡旻教授团队与华中科技大学光电子国家实验室的李培宁教授团队合作，成功开发出了一项革命性的“太赫兹时域过滤纳米成像技术（THz-TDF）”，并与浙江大学艺术与考古学院、艺术与考古图像数据实验室的张晖教授团队合作首次将其应用于古代彩绘颜料的纳米级光谱分析。

该研究成果发表于《Nano Letters》期刊，题为“Time-domain-filtered terahertz nanoscopy of intrinsic light-matter interactions”，揭示了这一技术在纳米光学中的应用潜力，特别是在古代艺术品颜料的分析中取得的突破。该研究由电子科技大学、华中科技大学与浙江大学的研究人员共同完成。团队成员包括电子科技大学的张晓秋艳博士后、张倬铖博士、胡旻教授，华中科技大学的张昕博士、李培宁教授，浙江大学的杨静博士、王嘉堃博士、张晖教授等人。

在近年来的科学研究中，太赫兹（THz）技术因其在生物传感、安全筛查和信息通信等领域的巨大潜力而受到关注。然而，传统的远场成像技术受到衍射极限的制约，分辨率无法达到亚毫米级。针对这一问题，近场光学显微镜技术通过金属化尖端将入射的THz波聚焦到纳米级体积，从而能够探测纳米尺度的THz光学特性。然而，由于THz波长较长，尖端和悬臂上会产生共振表面波，这些表面波会掩盖样品的固有近场响应，成为阻碍进一步发展的主要障碍。

在解决传统太赫兹近场成像技术中表面波干扰问题的过程中，胡旻教授团队结合了时域光谱技术，并进行了创新性的技术开发。通过结合时域光谱截断技术，成功解决了传统太赫兹近场成像中的表面波干扰问题，实现了超高分辨率的太赫兹成像。

未来，通过将太赫兹发射与探测技术直接集成到探针中，有望实现更小型化、更高效的纳米成像系统。该技术将在量子材料、纳米光子学和文物保护等领域提供强大的支持，推动太赫兹纳米光学技术向更广泛的应用场景发展。

该研究采用觅几科技自主研发的太赫兹纳米分辨近场系统。该系统采用全新光路设计，支持多种太赫兹辐射源，能够在获得50nm超高分辨率的同时保持极高的信噪比。系统稳定、操作简便，配合商业化AFM探针，成像快速，能够实现太赫兹纳米波谱，性能与国际同类产品可媲美。公司核心子系统实现技术自主可控，模块组件国产化率超过90%，同时具备太赫兹源的自主研发能力。